|
|||||
|
|
| DJG新型高精度电荷积分仪 | |
| 引用本文： | 陈毅功,周怡亲.DJG新型高精度电荷积分仪[J].微细加工技术,1987(Z2). |
| 作者姓名： | 陈毅功 周怡亲 |
| 作者单位： | 长沙半导体工艺设备研究所 (陈毅功)，长沙半导体工艺设备研究所(周怡亲) |
| 摘 要： | 本文叙述了在400keV高能离子注入机和600keV高能离子注入机中使用的最新研制的DJG高精度电荷积分仪。阐述了该仪器的工作原理、技术特点和抗干扰措施。给出了参数分析模型、实测性能指标和原始数据。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |