| 冷冻靶激光等离子体软X射线源 |
| |
| 引用本文： | 林景全,陈波,曹健林,潘守甫,陈星旦. 冷冻靶激光等离子体软X射线源[J]. 光学学报, 1998, 18(6): 675-676 |
| |
| 作者姓名： | 林景全 陈波 曹健林 潘守甫 陈星旦 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室，吉林大学原子分子所 |
| |
| 摘 要： | 报道了以固态ＣＯ２作为靶材的一种新型激光等离子体软Ｘ射线源，与常规金属靶激光等离子体软Ｘ射线源相比，它是一种低污染的光源，深入研究正在进行中。
|
| 关 键 词： | 激光等离子体，冷冻靶，软X射线源 |
| 收稿时间： | 1997-06-01 |
Laser Plasma Soft X-Ray Source with Cryogenic Target |
| |
| Abstract: | A new type of laser plasma soft X-ray source with solid CO2 target is reported. The laser plasma source is of low debris characteristics and very suitable for soft X-ray projection lighography in the future. |
| |
| Keywords: | laser plasma cryogenic target soft X-ray source |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
