| 叠层模板电沉积中沉积均匀性的实验研究 |
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| 引用本文： | 范晖,田宗军,黄因慧,刘志东.叠层模板电沉积中沉积均匀性的实验研究[J].华南理工大学学报(自然科学版),2009,37(9). |
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| 作者姓名： | 范晖 田宗军 黄因慧 刘志东 |
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| 作者单位： | 1. 南京航空航天大学,江苏省精密与微细制造技术重点实验室,江苏,南京,210016;南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016
2. 南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，南京航空航天大学科研创新基金资助项目 |
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| 摘 要： | 为了改善叠层模板电沉积技术(LTE)中沉积层的均匀性,以减少辅助工序的工作量,采用直流电流、正脉冲电流和换向脉冲电流3组电流配置进行对比实验,对电流参数包括换向脉冲的脉宽、频率,工作时间、关断时间以及电流密度作了调整和优化.通过对宏观厚度和微观形貌的测量,发现:换向电流配置条件下,模板沉积层具有较好的均匀性, 换向脉冲电流的应用可以有效减少LTE工艺的加工难度和加工时间.文中还就换向电流对沉积层整平修饰的作用机理进行了理论分析,并采用优化的换向电流参数制备出了一批截面为20mm×20mm、厚度为4mm的铜质金属实体,证明了该技术的可行性.
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| 关 键 词： | 叠层模板 电沉积 换向脉冲电流 均匀性 |
Experimental Investigation into Deposition Uniformity of Laminated Template Electrodeposition |
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