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种用于亚微米多晶栅TiSi电阻优化的方法
引用本文:王敏妲,孙建洁,陈海峰.种用于亚微米多晶栅TiSi电阻优化的方法[J].电子与封装,2014(1):41-43,47.
作者姓名:王敏妲  孙建洁  陈海峰
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