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| 一种基于间接标靶法的微小推力测量技术 | |
| 引用本文： | 唐飞,叶雄英,周兆英.一种基于间接标靶法的微小推力测量技术[J].微纳电子技术,2003,40(7):438-440,444. |
| 作者姓名： | 唐飞 叶雄英 周兆英 |
| 作者单位： | 清华大学精仪系,北京,100084 |
| 基金项目： | "集成微光机电系统"(G1999033106)资助项目 |
| 摘 要： | 提出了一种基于间接标靶法的微小推力的测量方法。对测量原理进行了分析。利用该测量方法对一系列利用微机械技术(MEMS)制作的微喷管的性能进行了测量。给出了在不同燃烧室压强和喉部尺寸时,微喷管推力的测量结果,并与数值研究结果进行了比较。 |
| 关 键 词： | 间接标靶法 微小推力测量技术 测量原理 微机械技术 微喷管 微推进器 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0438-03 |
A target indirect measurement method of microthrust |
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| Abstract: | |
| Keywords: | MEMS |
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