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| 真空镀膜机改装成热丝CVD系统 | |
| 引用本文： | 任志昂,唐碧玉.真空镀膜机改装成热丝CVD系统[J].物理实验,2000,20(10). |
| 作者姓名： | 任志昂 唐碧玉 |
| 作者单位： | 湘潭大学物理系,长沙,411105 |
| 摘 要： | 通过重新设计和改造镀膜室,增添新引线和引进进气系统,将蒸发镀膜装置改装成新型热丝CVD(化学气相沉积)系统.性能参数测试结果表明,改装后的装置完全达到化学气相沉积系统的要求,能进行金刚石、BCN材料等物质的化学气相沉积,同时也完好地保留了原有真空镀膜的功能. |
| 关 键 词： | 蒸发镀膜 改装 热丝CVD系统 |
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