N型GaAs中位错与空位之间的相互关系

引言重掺杂 GaAs 片有多种应用,如外延生长的衬底或制造电发光器件。材料的结晶质量、它的掺杂浓度、掺杂剂的性质以及杂质或缺陷的存在对其应用是非常重要的,例如,就汽相生长外延而论,在外延层和其衬底之间交界面的电的和光的特性。