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| Effect of E × B electron drift and plasma discharge in dc magnetron sputtering plasma | |
| 作者姓名： | Sankar Moni Borah Arup Ratan Pal Heremba Bailung Joyanti Chutia |
| 基金项目： | Project supported by the Council of Scientific and Industrial Research -- Senior Research Fellowship, Government of India grant (Award No. 9/835(6)/2008/EMR-I). |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 放电等离子体 直流磁控溅射 电子效应 电子漂移 漂移速度 放电参数 磁场强度 径向变异 |
| 收稿时间： | 2010-06-09 |
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