2.06μm激光偏振膜设计与工艺方法

介绍了近红外固体激光器中2.06 μm激光偏振膜的用途、设计与制备方法。基于薄膜光学的基本理论以及三种不同膜系结构的对比，确定了初始膜系结构。讨论了薄膜选材、通带波纹压缩、工艺制备等相关技术问题。利用计算机优化软件对膜系结构进行了反复优化。采用电子束真空蒸镀和离子源辅助沉积工艺完成了偏振膜的制备，并对其进行了光谱检测。然后根据测试结果对制备过程中的相关参数进行了优化，最终制备出了光学性能优异、膜层吸收少、均匀性好、稳定性高的激光偏振膜。