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| Ni—50wt%Ti合金的择优溅射 | |
| 引用本文： | 王震遐,罗文芸.Ni—50wt%Ti合金的择优溅射[J].物理学报,1996,45(11):1930-1935. |
| 作者姓名： | 王震遐 罗文芸 |
| 作者单位： | [1]中国科学院上海原子核研究所 [2]上海大学上海射线应用研究所 |
| 摘 要： | 用卢瑟福散射技术测定了Ｎｉ－５００ｗｔ％Ｔｉ合金在３０ｋｅＶ Ａｒ＾＋离子轰击时的组分原子溅射角分析。结果表明，Ｎｉ原子和Ｔｉ原子的角分布存在差别；Ｎｉ原子在靶表面法线方向择优发射，而Ｔｉ原子则在大发射角区域发射较Ｎｉ强。根据元素在靶点表面按形貌特征局域富集情况的观测，对实验结果进行了讨论。 |
| 关 键 词： | 钛合金 溅射 择优溅射 |
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