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| 非晶调制多层膜Nb/Si中的互扩散研究 | |
| 作者姓名： | 张明 于文 张君 张远仪 王文魁 |
| 作者单位： | (1)中国科学院物理研究所; (2)中国科学院物理研究所;中国科学院国际材料物理中心 |
| 摘 要： | 利用原位Ｘ射线衍射技术得到非晶调制多层膜Ｎｂ／Ｓｉ中的互扩散系数与退火温度的关系,调制周期Ｌ＝３.２ｎｍ的非晶调制多层膜是用粒子溅射方法制备的．温度范围为４２３—５２３Ｋ的有效互扩散系数通过原位测量多层膜的一级调制峰强度与退火温度之间的关系而得到．利用缺陷陷阱延迟扩散机制解释了所得到的扩散系数与退火温度的关系．建立了可以解释较小前置系数的模型
关键词： |
| 关 键 词： | 铌／硅 互扩散 多层 薄膜 非晶调制 |
| 收稿时间： | 1995-08-09 |
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