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| 基于压电陶瓷驱动的微操作手研究现状 | |
| 引用本文： | 荣伟彬,曲东升,孙立宁.基于压电陶瓷驱动的微操作手研究现状[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 荣伟彬 曲东升 孙立宁 |
| 摘 要： | 微操作手是微操作机器人的重要组成部分,首先介绍了国内外研制的几种典型微操作手.在此基础上,对于微操作手的关键技术,从机构、驱动、传感、检测几个方面进行了论述,在机构上,介绍了微位移定位机构的特点;在驱动方式上,论述了压电陶瓷的驱动方法;在微位移检测上,介绍了几种纳米微位移检测手段.最后,阐述了微操作手的发展趋势:微型化、集成化、智能化,达到纳米级或更高的定位精度. |
| 关 键 词： | 压电陶瓷 微操作手 微操作机器人 纳米定位 |
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