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| 残余气体质谱仪的进样输运及其对定量分析的影响 | |
| 作者姓名： | 吴聪 刘晓洋 张家良 |
| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助(No.11375041,10675028);中国科学院化学激光重点实验室开放基金资助(No.20131008) |
| 摘 要： | 使用QMS-200残余气体质谱分析仪,分别以空气、空气/氩气混合气体为样品,研究了质谱仪的进样输运效应.利用空气/氩气混合气体作为标准样品,进行了质谱峰强对浓度的标定,获得了分析仪对残余空气定量分析的标定关系.研究发现:由于输运过程,注入样品由于不同成分的输运速率、排空速率不同,样品不同成分在质谱仪内的量与其原始物质的量有所不同. |
| 关 键 词： | 残余气体分析仪 输运效应 质谱峰强 |
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