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| ECR-PECVD制备Si3N4薄膜沉积工艺的研究 | |
| 引用本文： | 陈俊芳,吴先球,王德秋,丁振峰,任兆杏.ECR-PECVD制备Si3N4薄膜沉积工艺的研究[J].物理学报,1999(7). |
| 作者姓名： | 陈俊芳 吴先球 王德秋 丁振峰 任兆杏 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | |
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