| ZnO:Al透明导电薄膜的制备及其特性分析 |
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| 引用本文： | 徐艺滨,杜国同,刘维峰,杨天鹏,王新胜. ZnO:Al透明导电薄膜的制备及其特性分析[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(3): 569-572 |
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| 作者姓名： | 徐艺滨 杜国同 刘维峰 杨天鹏 王新胜 |
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| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春,130023;吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春,130023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.60307002)，吉林大学创新基金 |
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| 摘 要： | ![]()
采用射频磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备出c轴择优取向的ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜,靶材为AZO(2;质量分数Al2O3)陶瓷靶.对在不同溅射功率下沉积出来的薄膜运用X射线衍射(XRD)、可见光区透射谱、四探针方法分别进行结构和光电特性的表征.得出在200W下沉积的膜性能最好,可见光区平均透过率达到89;以上,电阻率最低为9.3×10-4Ω·cm.
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| 关 键 词： | 射频磁控溅射 透明导电薄膜 AZO膜 |
| 文章编号： | 1000-985X（2006）03-0569-04 |
| 收稿时间： | 2005-10-18 |
| 修稿时间： | 2005-10-18 |
Research on Preparation and Properties of Transparent Conductive ZnO:Al Thin films |
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| XU Yi-bin,DU Guo-tong,LIU Wei-feng,YANG Tian-peng,WANG Xin-sheng. Research on Preparation and Properties of Transparent Conductive ZnO:Al Thin films[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2006, 35(3): 569-572 |
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| Authors: | XU Yi-bin DU Guo-tong LIU Wei-feng YANG Tian-peng WANG Xin-sheng |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | RF magnetron sputtering transparent conductive film AZO film |
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