| 光子晶体波导对垂直腔面发射激光器光束远场形貌的调控 |
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| 引用本文： | 刘安金,邢名欣,渠红伟,陈微,周文君,郑婉华.光子晶体波导对垂直腔面发射激光器光束远场形貌的调控[J].物理学报,2010,59(2):1035-1039. |
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| 作者姓名： | 刘安金 邢名欣 渠红伟 陈微 周文君 郑婉华 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室，北京 100083 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划特别基金（批准号:2006CB921700）、国家自然科学基金（批准号:10634080,60677046,60838003）和国家高技术研究发展计划（批准号:2006AA03Z403）资助的课题. |
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| 摘 要： | 研究了光子晶体波导对垂直腔面发射激光器(VCSEL)光束远场形貌的调控.采用三层对称平板波导模型分析了影响光子晶体VCSEL(PC-VCSEL)远场发散角的参数.研究表明,PC-VCSEL中光子晶体的填充比(空气孔直径和光子晶体周期的比值)以及空气孔的刻蚀深度控制了光束的发散角,低填充比和浅刻蚀的PC-VCSEL有利于获得低发散角的光束.设计并制作了两种不同结构参数的PC-VCSEL,这两种器件中光子晶体的填充比和空气孔的刻蚀深度不同.实验结果表明,低填充比和浅刻蚀的PC-VCSEL的发散角更低,与理论分析符合得很好.
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| 关 键 词： | 光子晶体波导 垂直腔面发射激光器 发散角 |
| 收稿时间： | 2009-04-18 |
Control of the photonic crystal waveguide over the beam profile of vertical-cavity surface-emitting lasers |
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| Liu An-Jin,Xing Ming-Xin,Qu Hong-Wei,Chen Wei,Zhou Wen-Jun,Zheng Wan-Hua.Control of the photonic crystal waveguide over the beam profile of vertical-cavity surface-emitting lasers[J].Acta Physica Sinica,2010,59(2):1035-1039. |
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| Authors: | Liu An-Jin Xing Ming-Xin Qu Hong-Wei Chen Wei Zhou Wen-Jun Zheng Wan-Hua |
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| Abstract: | The control of the photonic crystal waveguide over the beam profile of vertical-cavity surface-emitting lasers is investigated. The symmetric slab waveguide model is adopted to analyze the control parameters of the beam profile in the photonic-crystal vertical-cavity surface-emitting laser (PC-VCSEL). The filling factor (the ratio of the hole diameter to the lattice constant) and the etching depth control the divergence angle of the PC-VCSEL,and the low filling factor and the shallow etching depth are benef... |
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| Keywords: | photonic crystal waveguide vertical-cavity surface-emitting lasers divergence angle |
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