| MSM结构平面及掩埋叉指电极间电场的分布特性 |
| |
| 引用本文： | 任丙振,苑进社,陈光德.MSM结构平面及掩埋叉指电极间电场的分布特性[J].半导体光电,2006,27(4):416-418. |
| |
| 作者姓名： | 任丙振 苑进社 陈光德 |
| |
| 作者单位： | 西安交通大学,应用物理系,陕西,西安,710049;西安交通大学,应用物理系,陕西,西安,710049;西安理工大学,应用物理系,陕西,西安,710048 |
| |
| 摘 要： | 提出了一种新型具有掩埋电极的金属-半导体-金属(MSM)探测器原型器件结构,并用数值计算的方法研究了其激活层内电场的分布特性,讨论了掩埋电极深度对电场分布的影响,并与传统平面叉指电极结构进行比较,得出该结构对器件性能改善具有重要的作用.
|
| 关 键 词： | 金属-半导体-金属 叉指电极 电场分布 优化设计 |
| 文章编号： | 1001-5868(2006)04-0416-03 |
| 收稿时间： | 2005-11-03 |
| 修稿时间： | 2005年11月3日 |
Electric Field Distribution between Recessed and Un-recessed Interdigital Electrodes of MSM Structures |
| |
| REN Bing-zhen,YUAN Jin-she,CHEN Guang-de.Electric Field Distribution between Recessed and Un-recessed Interdigital Electrodes of MSM Structures[J].Semiconductor Optoelectronics,2006,27(4):416-418. |
| |
| Authors: | REN Bing-zhen YUAN Jin-she CHEN Guang-de |
| |
| Abstract: | A new type metal-semiconductor-metal(MSM) detector with recessed interdigital electrodes is proposed.The electric field distribution in active layer is simulated using numerical methods.The effect of depth of the electrodes is analyzed through computer simulation.The dissimilarity of the MSM detectors with and without recessed interdigital electrodes is discussed.The results are significant in improving the performances of MSM photodetectors and optimizing the design of the structure. |
| |
| Keywords: | MSM interdigital electrodes electric field distribution optimum design |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
