光滑表面粗糙度Rz参数的一种干涉测量法 |
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引用本文: | 褚长亮,屈光辉,王武孝,刘满仓,刘如军,张 琴. 光滑表面粗糙度Rz参数的一种干涉测量法[J]. 物理通报, 2016, 35(1): 71-74 |
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作者姓名: | 褚长亮 屈光辉 王武孝 刘满仓 刘如军 张 琴 |
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作者单位: | 西安理工大学理学院,西安理工大学理学院,西安理工大学材料科学与工程学院,西安理工大学理学院,西安理工大学理学院,西安理工大学理学院 |
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摘 要: | 介绍了一种光滑表面粗糙度Rz 参数的干涉测量法.该方法用空气膜层上表面与样本表面的基准面平行的方式来观察等厚干涉条纹, 用干涉条纹间的相对运动来判断样本表面的峰谷, 同时也给出了新的Rz 计算公式.该方法测量过程较简单、 对仪器要求较低且有助于样本的表面微观形貌分析
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关 键 词: | 表面粗糙度 干涉测量法 表面微观形貌分析 |
One Kind of Interferometry Measurement Method about Roughness Parameter Rz of Smooth Surface |
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Keywords: | |
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