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光学在大型几何尺寸测量中的应用
作者姓名:王佳 李达成
作者单位:清华大学精密仪器系
摘    要:介绍了几种光学原理在大型几何尺寸测量中的应用.讨论的内容包括:多波长、双波长合成波长绝对距离干涉测量;激光频率分裂干涉测量;线性调频绝对距离干涉测量;相位板激光准直;旋光激光准直;半导体激光动态定位等.文章介绍了测量系统的工作原理,并讨论了测量精度和应用前景

关 键 词:光学测量,激光干涉测量,大型几何尺寸,大尺寸测量
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