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| 快速响应SOI马赫曾德热光调制器 | |
| 引用本文： | 魏红振,余金中,夏金松,严清峰,刘忠立,房昌水. 快速响应SOI马赫曾德热光调制器[J]. 半导体学报, 2002, 23(5) |
| 作者姓名： | 魏红振 余金中 夏金松 严清峰 刘忠立 房昌水 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083 2. 山东大学人工晶体研究所,济南,250100 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| 摘 要： | 给出了Y分支MZI热光调制器的模型,实验研制了基于SOI(silicon-on-insulator)的MZI热光调制器,调制器的消光比为-16.5dB,开关的上升时间为10μs,下降时间为20μs,相应的功耗为0.39W. |
| 关 键 词： | 集成光学 调制器 SOI 热光开关 |
Mach-Zehnder Interferometer Thermo-Optical Modulator with Fast Response |
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| Abstract: | |
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