| 环孔工艺的碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件 |
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| 引用本文： | 姚英,庄继胜,邹继鑫,姬荣斌,朱颖峰,陈晓屏,范宏波,蔡毅.环孔工艺的碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件[J].红外与毫米波学报,2008,27(6). |
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| 作者姓名： | 姚英 庄继胜 邹继鑫 姬荣斌 朱颖峰 陈晓屏 范宏波 蔡毅 |
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| 作者单位： | 1. 昆明物理研究所,云南,昆明,650223
2. 华东光电集成器件研究所,安徽,蚌埠,233042 |
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| 摘 要： | 碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件是高性能热像仪的核心组件.本文中作者完成了碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件的设计,利用环孔技术制备出576×6焦平面探测器芯片,经过杜瓦封装、配斯特林制冷机后成为实用的探测器组件.性能参数测试表明:典型的探测率达到1.79×1011cm Hz1/2/W,非均匀性达到14.6%,盲元率达到6.0%,并完成探测器组件的实验室演示成像.
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| 关 键 词： | 环孔技术 碲镉汞 长波红外 576×6焦平面探测器组件 |
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