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VLSI互连线系统中的低介电常数材料与工艺研究

引用本文：	宋登元,张全贵.VLSI互连线系统中的低介电常数材料与工艺研究[J].半导体情报,2000,37(2):8-12.

作者姓名：	宋登元张全贵

摘要：
关键词：	VLSI 互连线低介电常数材料集成电路
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