| FED器件的支撑结构设计和实现 |
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| 引用本文： | 葛常锋,于宏宇,罗淑云,刘珩.FED器件的支撑结构设计和实现[J].微细加工技术,2001(3):26-30. |
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| 作者姓名： | 葛常锋 于宏宇 罗淑云 刘珩 |
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| 作者单位： | 清华大学电子工程系 |
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| 摘 要： | 使用墙式结构作为FED器件的内的支撑，使用Algor专用力学有限元件对器件各种结构的力学特性进行了数值计算，同时对照器件的电学特性后确定了支撑墙的分布密度，安装位置和装配误差等工艺参数，并完成了现有器件条件下的工艺实现，得到理想的结果。
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| 关 键 词： | 场致发射显示器 支撑墙 有限元分析 显示器件 |
| 文章编号： | 1003-8213(2001)03-0026-05 |
| 修稿时间： | 2000年10月12 |
Design and Realization of FED'S Spacers |
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| GE Chang?feng,YU Hong?yu,LUO Shu?yun,LIU Heng.Design and Realization of FED''''S Spacers[J].Microfabrication Technology,2001(3):26-30. |
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| Authors: | GE Chang?feng YU Hong?yu LUO Shu?yun LIU Heng |
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| Abstract: | The wall structure is chosen as the spacer of FED.The Algor software is used for digital calculation of the mechanical characteristics of various structures of FED device.Referring its electronics properties,the distribution density,mounting position and allowed assembly error of the spacer are determined.The device has been completed under existing processing conditions and satisfied results have been obtained. |
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| Keywords: | Field Emission Display Spacer Finite Element Analysis |
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