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| 特殊YBCO高温超导双面膜的研制 | |
| 引用本文： | 李言荣 Geerk,J.特殊YBCO高温超导双面膜的研制[J].低温物理学报,1997,19(3):222-226. |
| 作者姓名： | 李言荣 Geerk J |
| 作者单位： | 电子科技大学信息材料工程学院 |
| 摘 要： | 本报导用倒筒式直流磁控溅射法在直径为１０．５ｍｍ、高为５．８ｍｍ的ＬａＡｌＯ３单晶圆柱体上通过放置基片使基两面同时均匀淀积出高度外延的ＹＢＣＯ超导薄膜。两面薄膜样品的Ｔｃ值均大于９１Ｋ，ΔＴｃ≤０．２Ｋ，ＦＷＨＭ≤０．２９，在７７Ｋ、１８．９ＧＨｚ下的Ｒｓ≈３ｍΩ。该优质薄膜适合于应用在高频微波器件上。 |
| 关 键 词： | YBCO 高Tc 超导薄膜 直流磁控溅射 |
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