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| 6000系列DSW | |
| 引用本文： | 丛林.6000系列DSW[J].电子工业专用设备,1983(2). |
| 作者姓名： | 丛林 |
| 摘 要： | <正> 据美国GCA公司集成电路系统分公司报道,他们生产的6000系列DSW片子步进系统能把中间版的电路图形缩小五或十倍后,以多阵列的形式直接复印在片子上。6000系列中,6100型DSW系统生产效率较高,能加工2μm或2μm以上线条的片子。用该系统每小时能曝光直径125mm的片子60枚;100mm的片子96枚。6200型DSW系统能刻作常精细的几何线条 |
6000系列DSW |
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