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准分子激光对陶瓷的表面处理
引用本文:
Haurd.,G 高鸿奕.准分子激光对陶瓷的表面处理[J].强激光技术进展,1995,5(4):34-37.
作者姓名:
Haurd.
G 高鸿奕
摘 要:
准分子激光已应用在对陶瓷的大面积表面处理上,旨在改善其表面形态与性能。本文讨论了KrF激光在对Al2O3陶瓷样品以及陶瓷膜的处理过程中,其参量对上有面特性的影响。
关 键 词:
陶瓷
表面处理
准分子激光
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