| 基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现 |
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| 引用本文： | 陆亚聪,陈林森,魏国军,邵洁,周小红.基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现[J].四川激光,2007,28(6):46-47. |
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| 作者姓名： | 陆亚聪 陈林森 魏国军 邵洁 周小红 |
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| 作者单位： | 苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006 |
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| 摘 要： | 提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形.此系统分辨率能够达到6000DPI,能够制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字,并给出了实验结果.
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| 关 键 词： | 激光直写 数字微反射镜 光变图像 |
| 文章编号： | 0253-2743（2007）06-0046-02 |
| 收稿时间： | 2007-07-25 |
| 修稿时间： | 2007年7月25日 |
Laser direct writing system of fabricating high resolution image with DMD |
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| LU Ya-cong,CHEN Lin-sen,WEI Guo-jun,SHAO Jie,Zhou Xiao-hong.Laser direct writing system of fabricating high resolution image with DMD[J].Laser Journal,2007,28(6):46-47. |
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| Authors: | LU Ya-cong CHEN Lin-sen WEI Guo-jun SHAO Jie Zhou Xiao-hong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser direct writing DMD(digital micro device) OVD(optical variable device) |
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