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A unique,device-friendly contact system for shallow junction p/n indium phosphide devices
Authors:Victor G Weizer  Navid S Fatemi
Institution:(1) NASA Lewis Research Center, 21000 Brookpark Rd., 44135 Cleveland, OH;(2) Essential Research, Inc., 21000 Brookpark Rd., 44135 Cleveland, OH
Abstract:
Keywords:Ag/Zn/Ag metallization  InP  interdiffusion  ohmic contacts
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