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| 扩大及改进LC—2A型离子注入机功能的综合考虑 | |
| 引用本文： | 陈泉森,王正官,包昌珍,郑亚民,何钜华.扩大及改进LC—2A型离子注入机功能的综合考虑[J].微细加工技术,1985(4). |
| 作者姓名： | 陈泉森 王正官 包昌珍 郑亚民 何钜华 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 (陈泉森，王正官，包昌珍，郑亚民)，中国科学院上海技术物理研究所(何钜华) |
| 摘 要： | 本文根据我所红外及光电器件研制工艺中对离子注入的特殊要求,注入机的现有性能及本所技术力量和特色,对LC—2A型注入机离子源、注入能量低(几keV—几百keV)和红外表面测温、低温靶室等方面作出改进考虑和试验以期扩大和改进原有注入机功能。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |