| GaAs衬底上Ga In1—xP膜的电子探针X射线波谱分析 |
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| 引用本文： | 毛振伟 李凡庆. GaAs衬底上Ga In1—xP膜的电子探针X射线波谱分析[J]. 光谱学与光谱分析, 1993, 13(6): 97-98,96 |
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| 作者姓名： | 毛振伟 李凡庆 |
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| 作者单位： | 中国科学院中国科学技术大学结构分析开放研究实验室，中国科学院中国科学技术大学结构分析开放研究实验室，中国科学院中国科学技术大学结构分析开放研究实验室，中国科学院中国科学技术大学结构分析开放研究实验室，中国科学院中国科学技术大学结构分析开放研究实验室，中国科学院中国科学技术大学结构分析开放研究实验室 230026 合肥，230026 合肥，230026 合肥，230026 合肥，230026 合肥，230026 合肥 |
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| 摘 要： | 本文用波长色散型电子探针对ＧａＡｓ衬底上ＧａｘＩｎ１－ｘＰ混晶膜的元素组分进行了分析，为用ＳＥＭ－ＷＤＳ测定该类混晶膜材料作了一次试验。
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| 关 键 词： | X射线波谱 GaxIn1－xP 混晶膜 |
X-RAY ANALYSIS OF Ga_xIn_(1-x)P THIN COATING ON GaAs BASE USING WAVELENGTH DISPERSIVE ELECTRON PROBE |
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| MAO Zhenwei,LI Fanqing,ZUO Jian,LU Jiang,TAN Shun,ZHANG Shuyuan Structure Research Laboratory,University of Science and Technology of China, Hefei. X-RAY ANALYSIS OF Ga_xIn_(1-x)P THIN COATING ON GaAs BASE USING WAVELENGTH DISPERSIVE ELECTRON PROBE[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 1993, 13(6): 97-98,96 |
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| Authors: | MAO Zhenwei LI Fanqing ZUO Jian LU Jiang TAN Shun ZHANG Shuyuan Structure Research Laboratory University of Science Technology of China Hefei |
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| Affiliation: | MAO Zhenwei,LI Fanqing,ZUO Jian,LU Jiang,TAN Shun,ZHANG Shuyuan Structure Research Laboratory,University of Science and Technology of China,230026 Hefei |
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| Abstract: | We have analysed chemical composition of Ga_x In_(1-x) P thin coating on GaAs base using WD-EPXMA in this paper. |
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| Keywords: | WD-EPXMA Ga_x In_(1-x)P mixed crystal |
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