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激光物理气相沉积术
引用本文：张魁武.激光物理气相沉积术[J].激光集锦,2002,12(2):36-48.
作者姓名：张魁武
摘    要：
关 键 词：激光  物理气相沉积术  超导薄膜  电磁薄膜
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