磁场在直流三极溅射沉积TiC中的应用

作者从电磁学基本理论出发,阐明了正交磁场对提高直流三极溅射沉积率的工作原理。并介绍了正交磁场的施加方法和DMZ-450型正交电磁场直流三极溅射炉的特性,它所沉积的TiC涂层质量及其初步的应用效果。