| 光集成器件和MOEMS中硅基衍射器件的研究 |
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| 引用本文： | 陈殿伟,才殿文,杨海英.光集成器件和MOEMS中硅基衍射器件的研究[J].大学物理实验,2004,17(3):34-37. |
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| 作者姓名： | 陈殿伟 才殿文 杨海英 |
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| 作者单位： | 吉林化工学院,吉林,132022;洮南一中,洮南,137100;吉林市第五中学,吉林,132001 |
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| 摘 要： | 介绍了光集成器件和MOEMS中硅材料和衍射光学元件的应用。在此基础上分析了硅基衍射光学元件在光集成器件和MOEMS中的重要地位；描述了几种常见形态的硅基衍射光学元件，简单分析了难于获得垂直于硅基底的衍射光学元件的原因。
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| 关 键 词： | 光集成器件 集成光学 光电集成 微光机电系统(MOEMS) 硅基(Siliconbased) 衍射光学元件(DOE) |
| 文章编号： | 1007-2934(2004)03-0034-04 |
| 修稿时间： | 2004年7月28日 |
RESEARCH OF OPTICAL SENSER AND MOEMS |
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| Chen Dianwei.RESEARCH OF OPTICAL SENSER AND MOEMS[J].Physical Experiment of College,2004,17(3):34-37. |
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| Authors: | Chen Dianwei |
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| Abstract: | This paper introduces the application of the optical sensor and MOEMS and gives some reasons of these sensors and intergrated optics as well. |
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| Keywords: | optical senser interfrated optics MOEMS silicon-based DOE |
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