| 电子回旋共振微波等离子体技术及应用 |
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| 引用本文： | 张继成,唐永建,吴卫东. 电子回旋共振微波等离子体技术及应用[J]. 强激光与粒子束, 2002, 14(4): 566-570 |
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| 作者姓名： | 张继成 唐永建 吴卫东 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心， 四川 绵阳 621900 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 ( 10 0 75 0 40 )资助课题，中国工程物理研究院行业科学技术预研基金 ( 2 0 0 0 0 32 2 )资助课题 |
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| 摘 要： | 电子回旋共振微波等离子体技术(ECR-MP)在表面处理、等离子体刻蚀和薄膜制备，尤其是高品质的激光惯性约束聚变薄膜靶的制备中有着重要的应用。综述了ECR-MP的基本原理、反应装置、实验研究、理论研究和应用情况的发展现状，同时分析了其今后可能的发展趋势。
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| 关 键 词： | 电子回旋共振 微波等离子体 反应装置 应用现状 发展展望 |
| 文章编号： | 1001-4322(2002)04-0566-05 |
| 收稿时间： | 2002-01-09 |
| 修稿时间： | 2002-01-09 |
Technology and application of celectron cyclotron resonance microwave plasas |
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| ZHANG Ji-cheng,TANG Yong-jian,WU Wei-dong. Technology and application of celectron cyclotron resonance microwave plasas[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2002, 14(4): 566-570 |
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| Authors: | ZHANG Ji-cheng TANG Yong-jian WU Wei-dong |
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| Affiliation: | Research Center of Laser Fusion, CAEP, P.O.Box 919-987, Mianyang 621900, China |
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| Abstract: | In this paper, the basic concepts, reaction equipment, experimental research, theoretical research and present applications of electron cyclotron resonance microwave plasma(ECR-MP) are reviewed. At the same time, its development in the future is also discussed. |
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| Keywords: | electron cyclotron resonance(ECR) MP(microwave plasmas) reaction equipment present application future development |
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