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| 自重变形对超高精度Fizeau干涉仪的光学性能影响 | |
| 引用本文： | 冯睿,刘伟奇,康玉思,张健,柳华,王汝冬,魏忠伦.自重变形对超高精度Fizeau干涉仪的光学性能影响[J].光学学报,2011(7):104-108. |
| 作者姓名： | 冯睿 刘伟奇 康玉思 张健 柳华 王汝冬 魏忠伦 |
| 摘 要： | 为实现λ/100峰谷值(PV)的光刻投影物镜面形检测精度要求,深入分析了自重变形对大口径超高精度Fizeau干涉仪的光学性能产生的影响.设计的球面标准具结构,其系统波像差达到λ/1000(PV)、像方数值孔径(NA)值为0.36,用于口径超过300 mm的球面镜面形检测.使用Patran/Nastran软件通过有限元方... |
| 关 键 词： | 测量 Fizeau干涉仪 有限元法 自重变形 波像差 |