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| 半导体的激光表面处理 | |
| 作者姓名： | 邹世昌 林成鲁 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金所(邹世昌)，中国科学院上海冶金所(林成鲁) |
| 摘 要： | 自从1977年以来,半导体的激光表面处理是国际上很活跃的研究领域。据不完全统计,截止1981年7月,发表的论文数在800篇以上,近几年继续发表了大量论文,并出版了若干专著。从1978年至今,每年11月在美国波士顿召开的材料研究学会(MRS)年会上都有半导体的激光表面处理方面的专题报告会,并且每次都出版这方面的会议集。另外,离子束 |
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