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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
二氧化锡薄膜:制备及在室温下气敏性质
作者姓名:
郝沛沛
陈长龙
魏玉玲
穆晓慧
作者单位:
化学化工学院, 济南大学, 化学传感与分析重点实验室, 济南 250022;化学化工学院, 济南大学, 化学传感与分析重点实验室, 济南 250022;齐鲁工业大学, 分析测试中心, 济南 250353;化学化工学院, 济南大学, 化学传感与分析重点实验室, 济南 250022
基金项目:
国家自然科学基金(No.20901029)资助项目。
摘 要:
利用溶胶-凝胶法首先在玻璃基片上制备了氧化锡晶种膜,之后采用溶剂热法在其上生长了致密的氧化锡薄膜。利用扫描电子显微镜和X射线衍射技术对氧化锡薄膜的形貌和晶体结构进行了表征,结果表明构成薄膜的氧化锡晶粒具有四方锡石结构,尺寸在7~10nm之间。表面活性剂在溶剂热反应过程中对薄膜生长的研究表明,十二烷基苯磺酸钠可以显著提高薄膜的质量。对所制备的氧化锡薄膜进了气敏性质研究,结果表明,在温和的测试条件下,如室温、常压、干燥的空气背景等,该氧化锡薄膜对二氧化氮气体具有良好的探测能力,检测限为1.0μL·L
-1
。
关 键 词:
薄膜
X-射线衍射
半导体
气体传感器
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