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| 直接计数式激光外差测振装置 | |
| 引用本文： | 薪永东,孙渝生.直接计数式激光外差测振装置[J].四川激光,1988(3). |
| 作者姓名： | 薪永东 孙渝生 |
| 作者单位： | 上海激光技术研究所，上海激光技术研究所 中国计量科学研究院 |
| 摘 要： | 本文描述了一种直接计数式激光外差测振装置。此装置利用计数方法实现了以高精度对物体振幅和振频的同时测量。整个测量由微处理机进行测量控制、数据实时处理。此装置测量振幅的相对精度达1％(A_v>10μm),测量振频的相对精度优于0.5％。 |
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