| 利用 AFM 机械刻蚀技术在OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究 |
| |
| 引用本文： | 刘建喜,赵晶,刘志鲁,陈淼. 利用 AFM 机械刻蚀技术在OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究[J]. 摩擦学学报, 2008, 28(1): 6-10 |
| |
| 作者姓名： | 刘建喜 赵晶 刘志鲁 陈淼 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;中国科学院,研究生院,北京,100039 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| |
| 摘 要： | 在羟基化Si(111)表面制备十八烷基三氯硅烷(OTS)自组装单分子膜,利用AFM机械刻蚀技术,通过自编程序设计针尖走向,以金刚石针尖作为加工工具,在OTS自组装单分子膜的Si(111)表面刻蚀不同结构的纳米图案,通过预设针尖移动距离和扫描头Z向位移等参数控制纳米结构的大小和深度.结果表明:利用原子力显微镜(AFM)机械刻蚀技术在OTS自组装单分子膜的Si(111)表面加工出大小、深度可控的纳米图案,其中载荷与加工深度基本呈线性关系;所获得的纳米图案结构清晰,刻蚀试验的重复性较好;经过刻蚀后的图案化区域为裸露的SiO2/Si表面,与OTS覆盖区域相比其摩擦力和粘附力较大,其表面性质具有明显的可分辨性.
|
| 关 键 词： | 原子力显微镜(AFM) 十八烷基三氯硅烷(OTS) 纳米加工 摩擦力 力分布成像 |
| 文章编号： | 1004-0595（2008）01-0006-05 |
| 收稿时间： | 2007-07-20 |
| 修稿时间： | 2007-09-15 |
Fabrication of Nanopatterns on OTS Surface Using AFM Based Scratch Method and Mechanical Properties |
| |
| LIU Jian-xi,ZHAO Jing,LIU Zhi-lu,CHEN Miao. Fabrication of Nanopatterns on OTS Surface Using AFM Based Scratch Method and Mechanical Properties[J]. Tribology, 2008, 28(1): 6-10 |
| |
| Authors: | LIU Jian-xi ZHAO Jing LIU Zhi-lu CHEN Miao |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | AFM OTS nanofabrication friction force force volume imaging |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《摩擦学学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《摩擦学学报》下载全文 |
|
