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| 微波三探针等离子体阻抗测量系统 | |
| 引用本文： | 胡海天,邬钦崇.微波三探针等离子体阻抗测量系统[J].物理实验,1997,17(5):195-196. |
| 作者姓名： | 胡海天 邬钦崇 |
| 作者单位： | 中国科学院等离子体物理研究所!合肥，230031，中国科学院等离子体物理研究所!合肥，230031，中国科学技术大学无线电电子学系!合肥，230026 |
| 摘 要： | 1引言在微波等离子体系统中，等离子体作为微波传输线的负载．它的物理和化学性质的变化在微波传输线中通过负载阻抗的变化体现出来1]．我们自行研制的微波三探针等离子体阻抗测量系统具有结构简单、成本低、灵敏度高、对微波硬件要求低等优点，为我们了解等离子体内部性质的变化提供了又一诊断途径．2微波三探针等离子体阻抗测量系统的工作原理图1为我们自行设计的微波三探针等离子体阻抗测量系统的结构示意图．在长度为133mm的．BJ—22型矩形波导的宽边中心线上，三只微波电探针以间隔λg／6（λg为波导波长，在我们使用的2450MHZ微波… |
| 关 键 词： | 三探针 等离子体 微波 阻抗 测量系统 |
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