三块光学平面间的互检 |
| |
作者姓名: | 王雪冬 刘平 |
| |
作者单位: | 西安交通大学理学院!710049 |
| |
摘 要: | 在等厚干涉实验中,我们可以利用两平面间空气隙所产生的干涉条纹数目来确定微小厚度(如金属箔纸的厚度),等厚干涉原理在光学加工、计量中的应用非常广泛.现介绍“三块互检法”在光学测量中的应用在光学测量中,常常需要检测平面光学零件的表面面形精度,通常的办法是用一块标准平面平晶(俗称标准样板)来检测.标准样板的工作面与光学零件待测面贴放一起,在白光或其他光源照射下;能够在两接触面上观察到干涉条纹.因为标准样板面形精度很高.可以认为观察到的干涉条纹数即为待测光学零件平面的面形精度,精度干涉条纹总数XA/2.平…
|
关 键 词: | 干涉实验 三块互检法 平面光学零件 |
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录! |
|