利用喷气式Z箍缩等离子装置进行X射线光刻

喷气式Ｚ箍等离子体装置可以产生较强的软Ｘ射线，能量大约在２－６ｋｅＶ之间，利用此装置产生的软Ｘ射线，用ＣＳＭ作光刻胶，进行了Ｘ射线光刻的初步研究，得到了较为的光刻图形，曝光深度估计在１０μｍ左右。