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微型圆光栅刻划偏心量的控制
引用本文:喻洪麟. 微型圆光栅刻划偏心量的控制[J]. 光子学报, 1998, 27(6): 573-576
作者姓名:喻洪麟
作者单位:重庆大学光电精密机械研究所机械传动国家重点实验室
基金项目:国家自然科学基金,863计划基金
摘    要:对微型圆光栅刻划偏心误差问题进行了讨论。提出了微型圆光栅刻划时偏心调试误差的公差范围。

关 键 词:环形叠栅条纹  微型圆光栅  偏心量控制
收稿时间:1998-02-08

THE ECCENTRIC DEGREE CONTROL OF MICRO RADIAL GRATING
Yu Honglin Institute of Optronic Precision Mechanics,Chongqing University Received date:--. THE ECCENTRIC DEGREE CONTROL OF MICRO RADIAL GRATING[J]. Acta Photonica Sinica, 1998, 27(6): 573-576
Authors:Yu Honglin Institute of Optronic Precision Mechanics  Chongqing University Received date:--
Affiliation:Yu Honglin Institute of Optronic Precision Mechanics,Chongqing University 400044 Received date:1998-02-08
Abstract:The division eccentric error of micro radial grating is analyged in this paper.And the tolerance zone of division eccentric debugging error is also given.
Keywords:Ring moire fringe  Micro radial grating  Eccentric error analysis
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