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非晶硅中磷掺杂固相效率的计算
引用本文:颜一凡. 非晶硅中磷掺杂固相效率的计算[J]. 湖南大学学报(自然科学版), 1992, 19(5): 83-87
作者姓名:颜一凡
作者单位:湖南大学应用物理系
摘    要:

关 键 词:非晶态 固体 磷 硅 掺杂 固相效率

Calculation of Phosphorus-Doping Solid-Phase Efficiency in a-Si
Yan Yifan. Calculation of Phosphorus-Doping Solid-Phase Efficiency in a-Si[J]. Journal of Hunan University(Naturnal Science), 1992, 19(5): 83-87
Authors:Yan Yifan
Affiliation:Yan Yifan Department of Applied Physics
Abstract:
Keywords:amorphous solids  phosphorus  silicon/doping  phase efficiency
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