静电浸没物镜轴外OTF的求解

静电浸没物镜在宽束成象器件中有着广泛的应用,而这些器件制作的成本一般来说又是比较高的。在电子计算机高度发展的今天,事先对该器件电子光学系统的精确设计是非常必要的。同时,在器件制作之前,对其设计质量作一合理的评价也是极为需要的。为此,我们编制了J-21机静电电子光学系统设计计算通用程序。