| 不同溅射功率制备的Zn0.97Co0.03O薄膜的结构和光学性质研究 |
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| 引用本文： | 阳生红,蒋志洁,张曰理. 不同溅射功率制备的Zn0.97Co0.03O薄膜的结构和光学性质研究[J]. 电子元件与材料, 2019, 38(1): 23-27 |
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| 作者姓名： | 阳生红 蒋志洁 张曰理 |
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| 作者单位： | 中山大学 物理学院,广东 广州,510275;中山大学 材料科学与工程学院,广东 广州,510275 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射法在不同射频功率下制备了Zn_(0. 97)Co_(0. 03)O薄膜。利用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、紫外-可见光谱和室温光致发光谱对薄膜进行了表征。XRD和Raman结果表明,Zn_(0. 97)Co_(0. 03)O薄膜为六方纤锌矿结构,沿(002)晶面择优取向。随着溅射功率的增大,薄膜的(002)晶面择优取向增强,晶化程度提高,晶粒尺寸增大。不同溅射功率制备的Zn_(0. 97)Co_(0. 03)O薄膜均具有较高的可见光透过率。随溅射功率增加,光学带隙减小,光吸收边红移。光致发光谱表明不同溅射功率制备的Zn_(0. 97)Co_(0. 03)O薄膜均具有较强的带边紫外发光峰。随着溅射功率的增加,该发光峰的峰位发生红移,且峰强度增强。以上研究结果表明,溅射功率对Zn_(0. 97)Co_(0. 03)O薄膜的生长速率、结晶质量及光学性能有明显影响,但不会影响薄膜的成分。
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| 关 键 词： | Zn0.97Co0.03O薄膜 磁控溅射 溅射功率 结构 可见光透过率 光致发光 |
Microstructure and optical properties of Zn_(0. 97)Co_(0. 03)O Thin films prepared using magnetron sputtering at different sputtering power |
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