| CuO-TiO2气敏材料的制备及其低温丙酮气敏特性研究 |
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| 引用本文： | 郑洁,潘国峰,韩楠,肖悦,王如.CuO-TiO2气敏材料的制备及其低温丙酮气敏特性研究[J].电子元件与材料,2019,38(3). |
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| 作者姓名： | 郑洁 潘国峰 韩楠 肖悦 王如 |
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| 作者单位： | 河北工业大学 电子信息工程学院 天津市电子材料与器件重点实验室,天津,300130;河北工业大学 电子信息工程学院 天津市电子材料与器件重点实验室,天津,300130;河北工业大学 电子信息工程学院 天津市电子材料与器件重点实验室,天津,300130;河北工业大学 电子信息工程学院 天津市电子材料与器件重点实验室,天津,300130;河北工业大学 电子信息工程学院 天津市电子材料与器件重点实验室,天津,300130 |
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| 基金项目： | 国家重大科技专项项目;天津市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法制备了CuO掺杂TiO_2纳米材料并用于丙酮气敏传感器制备,通过XRD和SEM对样品的物相结构和表面微观形貌进行表征,利用EDS对样品的元素种类与平面分布进行了分析,研究了CuO掺杂量、工作温度、光激发等对元件气敏性能的影响。结果表明,CuO-TiO_2对丙酮表现出良好的选择性,掺杂6.6%(质量分数)CuO的CuO-TiO_2,经500℃退火后,在75℃下,对体积分数为1000×10~(-6)丙酮的灵敏度达到106.71,响应时间和恢复时间均为2 s;同时研究还显示光激发可以有效提高元件的气敏性能,紫外光照射下元件对丙酮的灵敏度相比无光条件下增幅95%,而可见光照射下元件对丙酮的灵敏度相比无光条件下仍能增幅50%。
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| 关 键 词： | 氧化铜 二氧化钛 丙酮 工作温度 光激发 气敏性能 |
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