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| 可靠性问题讲座 第五讲 集成电路的失效分析 | |
| 引用本文： | 韩卓人.可靠性问题讲座 第五讲 集成电路的失效分析[J].微纳电子技术,1974(7). |
| 作者姓名： | 韩卓人 |
| 摘 要： | 半导体器件是近几十年发展起来的一种新型电子器件,它体积小、重量轻、功耗低、可靠性高,在电子学领域中已占有相当重要的地位,尤其是在导弹、计算机和航天技术中更显得重要。而集成电路是近十几年在平面型晶体管基础上发展起来的。目前由于在半导体器件和集成电路的研制和生产过程中,手工操作仍很多,以及使用数量的迅速增加,故提高可靠性已成为重要的问题。为了保证设备和系统功能正常,必须评价和验证半导体器件和集成电路的可靠性,以供系统设计者的参考,还要通过适当的手段测定其功能极限和对失效进行分析,找出性能退化的原因,改进工艺和向使用者提出合理 |
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