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燃烧火焰法沉积金刚石的晶体形貌
作者姓名:
郭志猛 殷声
摘 要:
本文研究了在大气中用燃烧火焰法沉积出的金刚石的结晶形态。结果发现,所沉积出的金刚石除了同体和十四面体单晶外,还有尖晶石型、伪五角型、二十面体型及球型等多重孪晶颗粒(MTPS),并与实验模型进行了对比观察。所有MTPS大多是以{111}面为孪晶面。在{111}面上还有大量层错和显微孪晶。本文还对产生上述晶体形貌的原因进行了理论分析。
关 键 词:
金刚石 晶体形貌 金刚石薄膜 燃烧火焰法 沉积
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