| 微机械加速度计失准角的精确测量 |
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| 引用本文： | 胡淏,董景新,吴黎明,万蔡辛. 微机械加速度计失准角的精确测量[J]. 中国惯性技术学报, 2007, 15(2): 233-236 |
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| 作者姓名： | 胡淏 董景新 吴黎明 万蔡辛 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 解放军总装备部预研项目 |
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| 摘 要： | 在与国家军用标准测试方法对比分析的基础上,由空间解析几何理论建立了微机械加速度计外壳坐标系和敏感部件坐标系的数学模型,提出一种测量失准角的“六位置法”:利用六面体翻滚,测量加速度计在六个不同位置下的输出电压,通过一系列公式运算可以精确测得失准角。实验结果表明:该方法在失准角为1度的情况下,标度因数准确性可提高3.046×10~(-4),失准角准确性提高2.539×10~(-4),从而表明了计算方法的可行性和实际应用价值。目前该方法已经应用于实验室成表测试。
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| 关 键 词： | 微机械加速度计 失准角 标度因数 测量 敏感轴 |
| 文章编号： | 1005-6734（2007）02-0233-04 |
| 修稿时间： | 2006-10-132007-01-30 |
Precise misalignment measurement of micromachined accelerometer |
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| HU Hao,DONG Jing-xin,WU Li-ming,WAN Cai-xin. Precise misalignment measurement of micromachined accelerometer[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 2007, 15(2): 233-236 |
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| Authors: | HU Hao DONG Jing-xin WU Li-ming WAN Cai-xin |
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| Affiliation: | Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084, China |
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| Keywords: | micro-machined accelerometer misalignment angles scale factor measurement sensitive axis |
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